Độ Phẳng Bề Mặt Làm Kín Là Yếu Tố Giữ Kín Chân Không Của Bạn Các Linh Kiện Buồng Bán Dẫn Gia Công CNC này là các vách chịu lực và vòng phân phối khí cho các thiết bị khắc, lắng đọng và cấy ion. Chúng
Các Linh Kiện Buồng Bán Dẫn Gia Công CNC này là các vách chịu lực và vòng phân phối khí cho các thiết bị khắc, lắng đọng và cấy ion. Chúng tôi gia công các bề mặt làm kín quan trọng với độ phẳng 0,005 mm và duy trì độ nhám bề mặt Ra 0,4 µm trên các rãnh gioăng chữ O. Điều đó có nghĩa là buồng của bạn giữ được chân không 10⁻⁶ Torr mà không có điểm kẹp đàn hồi. BQUQ đã có 20 năm sản xuất CNC tại Đông Quản, vì vậy bạn nhận được độ chính xác này với thời gian giao hàng 10 ngày—không phải 6 tuần như các xưởng điển hình ở Mỹ hoặc Đức.
Đối với các bộ phận tiếp xúc plasma, chúng tôi khuyên dùng nhôm 6061-T6. Độ dẫn nhiệt của nó (167 W/m·K) hút nhiệt ra khỏi vùng phản ứng nhanh hơn 10 lần so với thép không gỉ 316L. Chúng tôi khử ứng suất cho mỗi tấm trước khi gia công để loại bỏ ứng suất bên trong. Sau khi gia công, chúng tôi anod hóa cứng bề mặt tương đương 60 HRC—điều này ngăn ngừa phóng điện hồ quang và rụng hạt. Đối với trạm cuối cấy ion, chúng tôi sử dụng 304L hoặc 316L với đánh bóng điện hóa 32 Ra để giảm thoát khí dưới 1×10⁻⁹ Torr·L/s·cm².
Các bộ phận buồng của bạn thường cần các cổng nạp khí ở góc 15°, 30° hoặc 45°. Chúng tôi vận hành máy phay 5 trục DMG MORI để gia công các lỗ góc này trong một lần gá đặt duy nhất. Điều này loại bỏ sai số tích lũy từ việc gá đặt lại. Độ chính xác vị trí điển hình cho khoảng cách giữa các cổng là ±0,01 mm. Chúng tôi cũng gia công ren trong đạt tiêu chuẩn lắp ghép loại 2A—quan trọng cho các lỗ cụm gia nhiệt và giếng cặp nhiệt điện phải kín dưới chu kỳ nhiệt.
Mỗi lô vật liệu thô đều đi kèm chứng nhận nhà máy EN 10204 3.1. Chúng tôi kiểm tra thành phần hóa học và độ cứng trước khi cắt. Đối với các bộ phận nhôm, chúng tôi sử dụng tôi hóa T6 (190 HB). Đối với thép không gỉ, chúng tôi sử dụng trạng thái ủ dung dịch và sau đó, nếu bạn yêu cầu, chúng tôi thực hiện nung chân không cuối cùng ở 400°C để loại bỏ giòn hydro. Chúng tôi ghi lại chỉ số độ cứng trên phiếu kiểm tra của từng bộ phận—bạn nhận được con số thực tế, không phải giá trị "điển hình".
Chúng tôi kiểm tra 100% các đặc tính quan trọng, không chỉ một mẫu. Máy CMM Zeiss kiểm tra tất cả các lỗ khoan, mẫu bu lông và bề mặt làm kín so với mô hình 3D của bạn. Đối với các bộ phận phải giữ chân không, chúng tôi chạy kiểm tra rò rỉ heli xuống tới 1×10⁻⁹ mbar·L/s. Chúng tôi cũng chụp ảnh bộ phận bên cạnh thước đo đã hiệu chuẩn để bạn lưu hồ sơ. Bạn nhận được báo cáo kiểm tra đầy đủ với mỗi lô hàng—không tính phí thêm.
Hoàn thiện tiêu chuẩn là Ra 0,8 µm trên các khu vực không làm kín và Ra 0,4 µm trên các bề mặt làm kín. Đối với hóa chất ăn mòn như Cl₂ hoặc HBr, chúng tôi áp dụng anod hóa cứng 25 µm (Loại III) để chống lại sự tấn công. Đối với các bộ phận thép không gỉ, chúng tôi cung cấp đánh bóng điện hóa loại bỏ lớp biến cứng bề mặt và để lại bề mặt oxit crom thụ động. Chúng tôi không sử dụng phun mài mòn—nó nhúng các hạt môi trường gây ra khuyết tật trên tấm wafer.
Chúng tôi đóng gói hai lớp túi nhựa chống tĩnh điện và đóng trong thùng gỗ lót xốp. Thùng ngoài được dán nhãn "Dễ Vỡ—Cấp Chân Không" và bao gồm túi hút ẩm. Chúng tôi xử lý tất cả giấy tờ xuất khẩu, bao gồm Giấy Chứng Nhận Hun Trùng và Hóa Đơn Thương Mại. Vận chuyển qua DHL hoặc FedEx tận nơi mất 3-5 ngày đến Mỹ, EU hoặc Nhật Bản. Đối với sửa chữa khẩn cấp, chúng tôi có thể vận chuyển hàng không một bộ phận duy nhất trong vòng 48 giờ.
| Thông Số Kỹ Thuật | Giá Trị / Phạm Vi |
|---|---|
| Vật Liệu | Nhôm 6061-T6, 7075-T6, Thép không gỉ 304L/316L, Titanium Grade 5 |
| Kích Thước Tối Đa | 1200 mm x 800 mm x 400 mm |
| Phạm Vi Độ Dày | 2 mm đến 200 mm |
| Độ Cứng (Nhôm) | T6: 95 HB; Anod hóa cứng: tương đương 60 HRC |
| Độ Cứng (Thép không gỉ) | Ủ dung dịch: tối đa 200 HB |
| Dung Sai Gia Công | ±0,005 mm (tuyến tính), ±0,01 mm (vị trí) |
| Độ Nhám Bề Mặt Ra | 0,4 µm (làm kín), 0,8 µm (tiêu chuẩn), 0,2 µm (quang học) |
| Độ Đảo (đồng tâm) | ≤0,005 mm giữa các lỗ khoan |
| Thời Gian Giao Hàng | 10 ngày tiêu chuẩn, 5 ngày nhanh |
| MOQ | Không MOQ — 1 chiếc hoặc 1000 chiếc |
| Kiểm Tra | 100% CMM, kiểm tra rò rỉ heli tùy chọn |
Chúng tôi cần tệp 3D STEP hoặc IGES của bạn. Bản vẽ 2D thiếu các chỉ dẫn biên dạng bề mặt trên các cổng cong phức tạp. Gửi cho chúng tôi mô hình solid và chúng tôi sẽ kiểm tra độ dày thành, khả năng tiếp cận dụng cụ và bán kính trong. Nếu chúng tôi phát hiện vấn đề sản xuất, chúng tôi sẽ thông báo cho bạn trong vòng 4 giờ—không phải sau khi bạn đã trả tiền cho dụng cụ.
Chúng tôi lưu trữ chương trình CNC, đồ gá và quy trình kiểm tra của bạn trên máy chủ trong 10 năm. Khi bạn đặt hàng lại, chúng tôi lấy chương trình, chạy lại sản phẩm đầu tiên và giao hàng trong 7 ngày. Bạn không phải trả phí thiết lập mới cho đơn hàng lặp lại. Đối với hợp đồng hàng năm, chúng tôi có thể giữ tồn kho an toàn cho vật liệu thô quan trọng của bạn—chỉ cần cho chúng tôi biết dự báo của bạn.
Không có số lượng đặt hàng tối thiểu. Chúng tôi gia công một nguyên mẫu hoặc 1000 bộ phận sản xuất với cùng đơn giá.
Có, chúng tôi tìm nguồn từ các nhà máy được chứng nhận tại Trung Quốc, Đài Loan và Nhật Bản; gửi cho chúng tôi thông số ASTM hoặc DIN của bạn và chúng tôi sẽ xác nhận tính khả dụng trong vòng 24 giờ.
Chúng tôi sử dụng cùng quy trình kiểm tra CMM và chứng nhận vật liệu cho một chiếc duy nhất như cho một lô 1000 chiếc—không có đường tắt.
Chúng tôi có thể gia công một tấm nhôm đơn giản trong 48 giờ và vận chuyển hàng không; các buồng nhiều cổng phức tạp mất 5-7 ngày.
Sẵn sàng để các bộ phận buồng của bạn được chế tạo với độ chính xác thực sự? Gửi mô hình 3D và số lượng của bạn đến sc@bquq.com. Chúng tôi sẽ gửi lại báo giá chắc chắn trong vòng 12 giờ, bao gồm chi phí vật liệu, thời gian gia công và các tùy chọn vận chuyển. Đối với câu hỏi khẩn cấp, hãy WhatsApp cho chúng tôi theo số +86 13713157787. Không MOQ, không phí thiết kế, không phí dụng cụ ẩn—chỉ là Linh Kiện Buồng Bán Dẫn Gia Công CNC đáp ứng hướng dẫn dung sai gia công CNC của bạn và bền bỉ qua hàng nghìn chu kỳ xử lý. Sản xuất chính xác của chúng tôi tại Trung Quốc được hỗ trợ bởi 20 năm kinh nghiệm xuất khẩu. Chúng tôi cũng giúp bạn chọn đúng dụng cụ cho hợp kim cụ thể của bạn—tham khảo Sản phẩm liên quan
| Thông số | Khả năng |
|---|---|
| Vật liệu | AL6061/7075, SUS303/304/316, thép 45#, đồng T2, đồng thau H59, POM, PEEK, nylon |
| Dung sai | ±0.005mm tiêu chuẩn, ±0.003mm theo yêu cầu |
| Máy móc | CNC 3/4/5 trục, tiện-phay, máy tiện Thụy Sĩ |
| Bề mặt | Anodizing, niken, kẽm, thụ động hóa, phun cát, đánh bóng |
| Phạm vi kích thước | Tối đa 400 x 300 x 200 mm |
| Mẫu thử | 72 giờ, không có MOQ cho mẫu |
| Kiểm tra | Báo cáo đầy đủ theo lô, dữ liệu CMM theo yêu cầu |
